產(chǎn)品簡介

MF5700系列系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí)，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布產(chǎn)生的擾動不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或流量。