的空間分辨率
使用分析條件束流,引以為傲的二次電子圖像分辨率。(加速電壓10kV時,20nm@10nA//50nm@100nA/150nm@1μA)。與原來的電子槍(CeB6、鎢燈絲)的結果相比,一目了然。
由于可用更大的束流得到與原來電子槍相同分辨率的圖像,所以可進行更高靈敏度的X射線分析。 更加值得注意的是,束流為1μA時的SEM圖像。能夠得到1μA以上束流,而且可以壓縮到如此細的島津產品只有EPMA-8050G。

各種電子槍產生電子束的特性比較(加速電壓10kV)
大束流更高靈敏度分析
場發(fā)射類型的SEM、EPMA可實現其他儀器所不能達到的大束流(加速電壓30kV時可達3μA)。在超微量元素的檢測靈敏度上實現了質的飛躍,將元素面分析時超微量元素成分分布的可視化成為現實。而且,所有束流范圍內不需要更換物鏡光闌,不用擔心合軸,實現了高度自動化分析。
面的3個圖像為不同束流下,對不銹鋼中約1%左右Si進行面分析的結果※。束流越大,偏差越小,越能更加清楚的確認包含Si的范圍。
※ 分析條件:加速電壓10kV,積分時間50msec。分析花費時間約1小時。



全部分析操作簡單易懂
全部操作僅需一個鼠標可實現的可操作性、追求「易懂」的人性化用戶界面、搭載導航模式等多個新功能,將「簡單易懂操作」成為現實。無論是初學者還是專家級用戶都可進行得心應手的操作分析。
● 從樣品導入到生成分析報告,操作方便?!?br> ● 即便是次使用也可輕松進行樣品定位SEM觀察。
● 的可操控性,大大提高分析準備工作的效率。
● 視覺上追求「易懂」的人性化用戶界面。
● 搭載導航模式,自動指引直至生成分析報告。
