印前設(shè)備 印刷機(jī)械 印后設(shè)備 裝訂設(shè)備 廣告設(shè)備 辦公設(shè)備 印刷機(jī)械配件 其它印刷相關(guān)器材 其它印刷設(shè)備
廣州文明機(jī)電有限公司
會員1.png)
廣州文明機(jī)電有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地廣州市
包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時間：2024-11-24 08:53:17瀏覽次數(shù)：50次
聯(lián)系我時，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)暫無信息 |
JBX-6300FS的電子光學(xué)系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動調(diào)整直徑為（計算值）2.1nm的電子束，簡便地描畫出線寬在8nm以下（實(shí)際可達(dá)5nm）的圖形。 此外，該光刻系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了9nm以下的場拼接精度和套刻精度，性能比。 利用最細(xì)電子束束斑（實(shí)測值直徑≦2.9
JBX-6300FS的電子光學(xué)系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動調(diào)整直徑為（計算值）2.1nm的電子束，簡便地描畫出線寬在8nm以下（實(shí)際可達(dá)5nm）的圖形。
此外，該光刻系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了9nm以下的場拼接精度和套刻精度，性能比。
利用最細(xì)電子束束斑（實(shí)測值直徑≦2.9nm）可以描畫8nm以下(實(shí)際可達(dá)5nm)極為精細(xì)的圖形。本公司的ＤＦ/DS系統(tǒng)能對電子束偏轉(zhuǎn)產(chǎn)生的畸變進(jìn)行校正，具有球差和象散自動補(bǔ)償功能，可在場邊角、場邊界處進(jìn)行高精度地描畫。
該系統(tǒng)采用了19位DAC和樣品臺控制精度為0.6nm的激光干渉儀，實(shí)現(xiàn)了業(yè)界水準(zhǔn)的位置精度、拼接、套刻精度（±9nm）。 可用于位置精度要求很高的光子器件、通信設(shè)備等領(lǐng)域的研究和開發(fā)。
本公司獨(dú)自的自動校正功能(自動補(bǔ)償功能)，實(shí)現(xiàn)了可信賴的長時間穩(wěn)定地描畫。自動補(bǔ)償可以根據(jù)時間（任意的）、場和圖形進(jìn)行分別設(shè)定，非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時間描畫。
掃描速度高達(dá)50MHz，再加上地抑制了機(jī)器的準(zhǔn)備操作時間，因此縮短了描畫時間，到描畫開始為止的作業(yè)非常簡單，聚焦也能夠自動進(jìn)行，因而能提高總產(chǎn)出量。
使用自動裝載系統(tǒng)（選配），最多可以連續(xù)描畫10個樣品架。（例：可連續(xù)描畫10張6英寸的晶圓片或者40張2英寸的晶圓片等?！B續(xù)描畫時，需要和材料數(shù)相應(yīng)的樣品架。）目前在日本國內(nèi)外已有這樣的生產(chǎn)線。
利用微間距控制程序（場尺寸精調(diào)程序），可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。
| 電子槍 | ZrO/W 肖特基型 |
|---|---|
| 描畫方式 | 描畫方式 |
| 加速電壓 | 25kV (選配), 50kV, 100kV |
| 樣品尺寸 | 200mmΦ的晶圓片, 5英寸或 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。 |
| 樣品尺寸 | 2000μmＸ2000μm |
| 樣品臺移動范圍 | 190mmX170mm |
| 套刻精度 | ≦±9nm |
| 場拼接精度 | ≦±9nm |
| 掃描速度 | 50MHz |
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
包裝印刷網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
