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行業(yè)產(chǎn)品

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北京金盛微納科技有限公司


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標準型等離子體化學(xué)氣相淀積臺(PECVD-2D)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2023-07-03 09:15:11瀏覽次數(shù)：160次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：27條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：林平

產(chǎn)品簡介

詳細描述本設(shè)備通過對工藝的有效控制，可獲得較好的均勻性、粘附性以及較好的重復(fù)性，并廣泛應(yīng)用于相關(guān)領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造

詳細介紹

詳細描述

本設(shè)備通過對工藝的有效控制，可獲得較好的均勻性、粘附性以及較好的重復(fù)性，并廣泛應(yīng)用于相關(guān)領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造。

 

產(chǎn)品主要性能指標


型號

PECVD-2D

真空系統(tǒng)

分子泵機組

淀積室數(shù)量

雙室

淀積室規(guī)格

?400×150mm

樣片臺尺寸

?290mm（熱均勻區(qū)?220mm）

加熱溫度

≤ 300℃

淀積材料

SiO2、Si3N4、非晶硅、碳化硅、類金剛石等

淀積速率

200 ～300 ?/min （與淀積材料和工藝有關(guān)）

淀積不均勻性

≤ ±5%

操作方式

手動


                       

 

                                                                                                                                                                                                                

 

 

 

 

                                                      

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