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行業(yè)產(chǎn)品

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北京金盛微納科技有限公司


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RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(帶Load_Lock裝置)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2023-07-03 09:26:22瀏覽次數(shù)：163次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：27條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：林平

產(chǎn)品簡介

本設(shè)備采用PLC控制，觸摸顯示屏操作

詳細(xì)介紹

     本設(shè)備采用PLC控制，觸摸顯示屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺(tái)。

本設(shè)備通過對(duì)真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的全自動(dòng)控制，以及所具有的安全互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點(diǎn)保護(hù)等功能。使設(shè)備的安全性、重復(fù)性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。

產(chǎn)品主要性能指標(biāo)：

 

型號(hào)

RIE-24000

真空系統(tǒng)

進(jìn)樣室：機(jī)械泵系統(tǒng)；刻蝕室：分子泵機(jī)組

樣品尺寸

500×400mm

刻蝕材料

SiO2、Si3N4等

刻蝕不均勻性

≤ ±5%

自動(dòng)化程度

真空系統(tǒng)、機(jī)械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動(dòng)控制。

人機(jī)界面

Windows環(huán)境、觸摸屏操作

操作方式

全自動(dòng)方式、非全自動(dòng)方式

配套件選配

可選擇進(jìn)口件或國產(chǎn)件

送/取樣片方式

機(jī)械手自動(dòng)送/取片

 

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