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湖南弘林科學(xué)儀器有限公司


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等離子灰化機(jī)PR500/501

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產(chǎn)品型號(hào)PR500

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地長(zhǎng)沙市

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更新時(shí)間：2025-04-19 14:14:46瀏覽次數(shù)：66次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情高頻輸出50~500W反應(yīng)腔215305mm低溫等離子常規(guī)桶型

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

高頻輸出 50~500W 反應(yīng)腔 Φ215×305mm

等離子灰化機(jī)PR500/501


低溫等離子·常規(guī)桶型。

PR500：手動(dòng)控制

PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
此款低溫等離子灰化機(jī)采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。


用途

●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)


特征

● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）

內(nèi)槽

PR500/510等離子清洗機(jī)內(nèi)槽

硅晶圓灰化狀態(tài)

硅晶圓灰化狀態(tài)


等離子灰化機(jī)PR500/501規(guī)格

型號(hào)
 PR500
 PR510
模式
 DP模式，桶型
控制部
 高頻輸出功率
 Max500W
頻率
 13.56MHz
同調(diào)方式
 自動(dòng)協(xié)調(diào)
反應(yīng)部
 反應(yīng)腔
 石英 Φ215×305mm
反應(yīng)氣體
 2系統(tǒng)（O 2 ／CF 4 ）
控制
 手動(dòng)
 觸摸屏自動(dòng)控制
配管材質(zhì)
 不銹鋼、特氟龍
外形尺寸
 W438×D520×H760mm
參照規(guī)格書(shū)
重量
 約60kg
 參照規(guī)格書(shū)
電源
 單相AC100V 9A
 三相AC200V 8A

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